uv boşluklu maruz kalmış birim
Bir UV vakum ışınma birimi, çeşitli endüstriyel uygulamalarda hassas fotolitografi süreçleri için tasarlanmış sofistike bir ekipmandır. Bu ileri düzeydeki sistem, ışınma koşullarını fotosensitif malzemeler için maksimize etmek amacıyla ultraviyole ışık teknolojisi ile vakum fonksiyonunu birleştirir. Birim, tüm ışınma alanı boyunca düzgün aydınlatma sağlayan yüksek performanslı bir UV ışık kaynağı içerirken, vakum sistemi santral ve alt tabaka arasında mükemmel bir teması sağlar. Ekipman genellikle doğru ışınma zamanlaması, vakum basıncı izleme ve programlanabilir işlem dizileri için dijital bir kontrol paneli içerir. Birimin tasarımı, UV koruyucu gözlem pencereleri ve otomatik kapanma mekanizmaları gibi güvenlik özelliklerini de içermektedir. Dayanıklı yapısı genellikle ağır işlevli çelik bir iskele, hassas hizalama sistemleri ve yüksek kaliteli optik bileşenlerden oluşur. Işınma odası, keskin ve detaylı sonuçlar elde etmek için süreç boyunca tutarlı vakum seviyelerini korumak üzere mühendislik yapılmıştır. Bu birimler, farklı alt tabaka boyutlarını barındırmak için çeşitli boyutlarda mevcuttur ve bu da onları, yazıcı devre kartı üretimi, şebekeli baskı ve foto kimyasal makineleşme süreçleri gibi birden fazla uygulamada kullanılmaya uygun esnek araçlar haline getirir.