boşluklu maruz kalmış birim
Bir vakum maruz kalan birim, fotolitografi sürecinde temel olan sofistike bir ekipman olarak, ana hatları ile photosensitif yüzey arasında optimal bir temas sağlamak amacıyla vakum teknolojisi ile hassas ışık maruziyeti birleştirir. Bu ileri düzeydeki sistem, genellikle LED veya merkür buharı lambaları kullanan yüksek yoğunlukta UV ışık kaynağına sahiptir ki, bu da tüm maruziyet alanında tutarlı ve均匀 bir aydınlatma sağlar. Vakum sistemi, sanat eserinin alt yüzeyle hava sıçramalarını engellemek için airtight bir mühür oluşturur, böylece görüntü kalitesini tehlikeye atmaz. Birimin dijital kontrol paneli, operatörlerin maruziyet sürelerini, vakum basıncını ve ışık yoğunluğunu kesin şekilde ayarlamasına izin verir, tekrarlanabilir sonuçlar sağlar. Modern vakum maruziyet birimleri, programlanabilir bellek ayarları, otomatik maruziyet hesaplamaları ve en iyi işletim sıcaklıklarını korumak için dahili soğutma sistemleri gibi özellikler içerebilir. Ekipmanın dayanıklı yapısı, genellikle ağır madde çerçevesi, ışık geçirmez maruziyet odası ve operatörleri UV radyasyonundan koruyan güvenlik kilidi içerir. Bu birimler, küçük biçimli prototip denemelerden büyük ölçekli endüstriyel imalata kadar farklı üretim gereksinimlerini karşılayacak çeşitli boyutlarda mevcuttur.
EN
