หน่วยการฉายรังสีด้วยระบบสุญญากาศ
เครื่องฉายรังสีด้วยระบบสุญญากาศเป็นอุปกรณ์ที่ซับซ้อนและมีความสำคัญในกระบวนการโฟโตลิโธกราฟี โดยใช้งานหลักในการผลิตแผงวงจรพิมพ์ (PCB) และการประยุกต์ใช้งานทางอุตสาหกรรมอื่น ๆ ระบบนี้รวมเอาเทคโนโลยีการฉายแสงที่แม่นยำเข้ากับเทคโนโลยีสุญญากาศ เพื่อให้มั่นใจว่ามีการติดต่อที่เหมาะสมระหว่างฟิล์มงานศิลปะกับผิวที่ไวต่อแสง อุปกรณ์นี้มีแหล่งกำเนิดแสง UV ความเข้มข้นสูง โดยทั่วไปจะใช้หลอด LED หรือหลอดไอน้ำปรอท ซึ่งให้แสงสว่างที่สม่ำเสมอและเท่าเทียมกันทั่วบริเวณพื้นที่ฉายแสง ระบบสุญญากาศสร้างการปิดผนึกแบบไม่มีอากาศระหว่างฟิล์มงานศิลปะกับวัสดุรองรับ เพื่อกำจัดช่องว่างของอากาศที่อาจทำให้คุณภาพของภาพเสียหาย แผงควบคุมดิจิทัลของเครื่องช่วยให้ผู้ปฏิบัติงานสามารถปรับเวลาฉายแสง แรงดันสุญญากาศ และความเข้มของแสงได้อย่างแม่นยำ เพื่อให้ได้ผลลัพธ์ที่ซ้ำซ้อนได้ เครื่องฉายรังสีด้วยระบบสุญญากาศในยุคปัจจุบันมักมีคุณสมบัติเพิ่มเติม เช่น การตั้งค่าหน่วยความจำแบบโปรแกรมได้ การคำนวณเวลาฉายแสงอัตโนมัติ และระบบระบายความร้อนในตัวเพื่อรักษาอุณหภูมิการทำงานที่เหมาะสม โครงสร้างที่แข็งแรงของอุปกรณ์มักประกอบด้วยกรอบที่ทนทาน ห้องฉายแสงที่กันแสง UV และระบบล็อคความปลอดภัยเพื่อปกป้องผู้ปฏิบัติงานจากแสง UV เครื่องเหล่านี้มีหลายขนาดเพื่อรองรับความต้องการการผลิตที่แตกต่างกัน ตั้งแต่การทดลองขนาดเล็กจนถึงการผลิตอุตสาหกรรมขนาดใหญ่