уФ вакуумдық шығару модулі
УФ вакуумдық жарықтың көрсеткіші – бұл әртүрлі санаттық қолданбаларда дәлдікпен фотолитография процесін орындау үшін дизайндагы мекемелік табиғаттағы құрал. Бұл инновациялық жүйе УФ жарық технологиясын және вакуум функциясын біріктіреді, сондықтан фотоғанаулық материалдар үшін ең жақсы жарық шарттарын taмендейді. Көрсеткіште жоғары қызметкерлікке ие УФ жарық көзі бар, бұл көрсеткіш барлық жарық ауданында теңдікпен жарық береді, ал вакуум жүйесі эскиз және базис арасындағы дәл кездесуін taмендейді. Табиғаттағы жабдықтардың ішінде жарық уақытын дәлдікпен бақылау үшін цифирлік басқару панели, вакуум басын бақылау және бағдарламалық операциялар тізбегі бар. Көрсеткіштің дизайны қауіпсіздік элементтерін қамтамасыз етеді, мисалы, УФ-қорғаушы көру араларын және автоматты өңір механизмдерін қамтамасыз етеді. Жабдықтың қалыпталуы тобына қатысты, қалыпты қысқаша сталь қорғасы, дәл сәйкес келу жүйелері және қысқаша оптическі компоненттерден тұрады. Жарық камеры процесс арқылы вакуум деңгейлерін қалыптастыруды мақсат етеді, бұл тез нәтижелерге жетуге және детальдікке жетуге маңызды. Бұл табиғаттар әртүрлі өлшемдерде болады, олар әртүрлі базис өлшемдерін қабылдайды, сонымен қатар, олар электрондық цептердің жасауында, экран баспасында және фотокимиялық машиналар процесінде көптеген қолданбалар үшін көптеген қосымша табиғаттар болып табылады.